南大光电: ArF光刻胶有少量供货, 尚未规模量产(南大光电 股票)

1970-01-01 08:00:00 股市快讯 0次阅读 投稿:新京报

3月14日,南大光电在互动平台上表示,ArF光刻胶有少量供货,尚未规模量产。公司正在研发和产业化的ArF光刻胶可以应用于90nm~28nm的制程工艺。

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